專(zhuān)利名稱(chēng): | 一種直接倍頻產(chǎn)生高功率真空紫外激光的裝置及方法 |
專(zhuān)利類(lèi)別: | 發(fā)明 |
申請號: | 2013101132893 |
申請日期: | 2013-04-02 |
專(zhuān)利號: | ZL2013101132893 |
第一發(fā)明人: | |
其它發(fā)明人: | |
國外申請日期: | |
國外申請方式: | |
專(zhuān)利授權日期: | |
繳費情況: | |
實(shí)施情況: | |
專(zhuān)利證書(shū)號: | |
專(zhuān)利摘要: | |
其它備注: | |
科研產(chǎn)出